1500/2000/3000iCL COOLVAC iCL系列全自動再生低溫泵

昆山熙日機械設(shè)備有限公司是低溫泵產(chǎn)品與維修服務(wù)提供商，德國、法國真空技術(shù)品牌的服務(wù)專家組建的技術(shù)服務(wù)商，致力于真空領(lǐng)域的解決方案，我們專業(yè)服務(wù)的品牌有：Seiko Seiki日本精工精機、EBARA日本荏原、Leybold德國歐瑞康萊寶、Pfeiffer德國普發(fā)、ALCATEL法國阿爾卡特、Edwards英國愛德華、Kashiyama日本樫山、 MITSUBISHI日本三菱、Suzuki日本鈴木冷泵、ULVAC日本愛發(fā)科、CTI Cryopump低溫泵（冷泵）等等… 為客戶提供市場前沿高質(zhì)量的技術(shù)解決方案，幫助客戶提高生產(chǎn)效率和降低生產(chǎn)成本！源自原廠、高于原廠、技術(shù)、同步！

萊寶COOLVAC低溫泵的工作范圍10-3到≤10-11mbar（0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托）屬于氣體捕集泵。工作原理是將氣態(tài)物質(zhì)通過低溫冷凝和低溫捕集到泵內(nèi)冷表面。為了能夠獲得高真空或超高真空，冷表面（低溫板）必須冷卻到足夠低的溫度。根據(jù)所用冷卻系統(tǒng)的類型可以分為制冷機低溫泵、 貯槽式低溫泵和蒸發(fā)器低溫泵。

萊寶COOLVAC低溫泵的工作范圍10-3到≤10-11mbar（0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托）屬于

氣體捕集泵。工作原理是將氣態(tài)物質(zhì)通過低溫冷凝和低溫捕集到泵內(nèi)冷表面。為了能夠獲得高真空或超高真空，冷表面（低溫板）必須冷卻到足夠低的溫度。根據(jù)所用冷卻系統(tǒng)的類型可以分為制冷機低溫泵、 貯槽式低溫泵和蒸發(fā)器低溫泵。

萊寶公司生產(chǎn)用制冷機冷卻低溫泵。

 萊寶1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL系列全自動再生低溫真空泵

客戶得益

低溫泵的優(yōu)勢：

- 所有氣體都有高抽速

- 對水汽有*的抽速

對于相同直徑的高真空法蘭，低溫泵可以達到所有高真空泵MAX的抽速。

低溫泵的優(yōu)勢2：

與氣體傳輸泵（例如渦輪分子泵）相比，低溫泵在真空側(cè)沒有任何機械活動

部件、潤滑油或脂潤滑部件。所以：- 10-3 至 ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至

≤ 0.75 x 10-11 Torr).壓強范圍的無烴真空

- 對外部振動不敏感

其它優(yōu)點：

- 與其他高真空泵相比更加緊湊（抽速大于1500 l x s-1）

- 僅啟動和再生期間需要前級泵

- 利用計算機更容易對工藝和泵進行控制

- 性價比更高，使用成本更低，尤其是需要大抽速的應(yīng)用

萊寶真空生產(chǎn)的低溫泵采用本廠生產(chǎn)的COOLPOWER雙級冷頭冷卻（Gifford/McMahon原理）。

有關(guān)COOLVAC系列低溫泵的設(shè)計，請見以下示意圖的內(nèi)容。

一級冷頭（9）冷卻熱輻射防護屏和低溫泵的障板（6）。

根據(jù)泵的型號和工作條件不同，達到45到80K的工作溫度，水蒸汽在這里冷凝。

熱輻射防護屏和障板為銅質(zhì)，它們能很好地傳遞熱量，從而優(yōu)化制冷容量。

另外，熱輻射防護屏經(jīng)過拋光，將反射損失降到盡可能小。二級冷頭（7）用于冷卻冷傘（8）。

根據(jù)工作條件，達到 10到 20 K的工作溫度。氮氣、氧氣和氬氣在這里低溫冷凝。冷傘采用高導(dǎo)熱銅材與二級冷頭緊密相連。氫氣、氖氣和氦氣被吸附到冷傘上面部分覆蓋活性炭上。

COOLVAC制冷機低溫泵

COOVAC系列的所有低溫泵都配有安全閥（UHV型帶有爆破膜），安全閥由工廠設(shè)置，過壓150mbar（113托）時打開。萊寶低溫真空泵 COOLVAC 60000 iCL維修保養(yǎng)?

為了保證在安全閥動作時，安全地排出可能影響健康的氣體，安全閥另配有一個 DN 40 KF 法蘭，上面可以連接一條排氣管線。

低溫泵的再生

低溫泵工作的一個重要方面是再生。由于低溫泵屬于氣體捕集泵，所以被抽氣體都蓄積在泵內(nèi)，飽和后必須泵排出。

具體操作方法是關(guān)閉壓縮機并加熱低溫區(qū)到室溫或略高的溫度，由前級真空泵將釋放的氣體排出。

非電控再生系統(tǒng)的低溫泵這種低溫泵通過向泵內(nèi)吹掃干燥、預(yù)熱的惰性氣體（例如氮氣）加熱低溫區(qū)到室溫。此情況下，由于低溫泵內(nèi)不可能有確定的和受控制的溫度，所以無法排除氫氣和氧氣同時存在的情況。只有通過干燥惰性氣體的稀釋作用來防止可燃混合氣的形成。萊寶低溫真空泵 COOLVAC 60000 iCL維修保養(yǎng)

多臺低溫泵組合操作

由于萊寶真空的壓縮機COOLPAK 6000HD功能強大，可以同時驅(qū)動兩個以上冷頭或低溫泵。

客戶得益

- 極大的降低投資和操作成本

- 占地面積小

蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江萊寶1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL系列全自動再生低溫真空泵

常熟鎮(zhèn)江常州揚州泰州南通南京啟東萊寶1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL系列全自動再生低溫真空泵

海門如皋海門海安如東宿遷徐州合肥萊寶1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL系列全自動再生低溫真空泵

蕪湖杭州湖州溫州臺州衢州紹興金華萊寶1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL系列全自動再生低溫真空泵

寧波余姚福州廈門泉州深圳廣州珠海廣州萊寶1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL系列全自動再生低溫真空泵

惠州通州桂林南寧南昌贛州武漢成都重慶萊寶1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL系列全自動再生低溫真空泵

荊州太原蘭州烏魯木齊石家莊天津長春萊寶1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL系列全自動再生低溫真空泵

吉林濟南青島威海德州連云港昆明九江安慶萊寶1500/2000/3000/10000/60000/iCL COOLVAC iCL系列全自動再生低溫真空泵

萊寶真空全自動加熱再生低溫泵

低溫泵通過電加熱器將一級和二級冷頭加溫到室溫。此類情況下，低溫泵內(nèi)可以達到確定和受控制的溫度分布。這個受控制的加溫過程保證了氣體被連續(xù)排出，也就是按以下順序氣體一個接一個

被釋放：

-　吸附在冷傘上的氣體（例如氫氣、　 氦氣、氖氣）

-　冷凝在冷傘上的氣體（例如氮氣、　 氧氣、氬氣）

-　冷凝在障板和熱輻射防護屏上的氣　 體和蒸汽（例如水蒸汽）

萊寶真空采用的這種電加熱再生方法能夠防止氫氣和氧氣之類的氣體在泵內(nèi)同時存在，從根本上排除了可燃混合氣形成的可能。

加溫過程為全自動，泵內(nèi)的壓強和溫度分布，始終由控制系統(tǒng)確定和控制，從而保證萊寶真空低溫泵再生期間較大限度的安全。

萊寶真空的低溫泵分自然再生（BL）和全自動加熱再生（iCL）兩個系列：

1. COOLVAC ClassicLine（COOLVACiCL），單品以對氮氣抽速命名（單位l/s），如COOLVAC 1500 iCL對氮氣的抽速為1500l/s?？商峁?500到60000l/s的全系列產(chǎn)

品。

在報價清單上，泵名稱帶有符號“V”的：“V”表示高真空接口位于上端，冷頭在下面，例如COOLVAC 1500 iCL-V、DN 200 CF。

2. COOLVAC BaseLine的命名規(guī)則相同，可提供從1500到60000l/s的全系列產(chǎn)品。

3.　特殊低溫泵

萊寶真空可以根據(jù)客戶要求提供特制低溫泵，如為航天環(huán)境模擬應(yīng)用提供大口徑液氮輔助制冷低溫泵CV30000BLN2和CV60000BLN2，詳細信息請和垂詢熙日真空。

昆山熙日機械設(shè)備有限公司是低溫泵產(chǎn)品與維修服務(wù)提供商，德國、法國真空技術(shù)品牌的服務(wù)專家組建的技術(shù)服務(wù)商，致力于真空領(lǐng)域的解決方案，我們專業(yè)服務(wù)的品牌有：Seiko Seiki日本精工精機、EBARA日本荏原、Leybold德國歐瑞康萊寶、Pfeiffer德國普發(fā)、ALCATEL法國阿爾卡特、Edwards英國愛德華、Kashiyama日本樫山、 MITSUBISHI日本三菱、Suzuki日本鈴木冷泵、ULVAC日本愛發(fā)科、CTI Cryopump低溫泵（冷泵）等等… 為客戶提供市場前沿高質(zhì)量的技術(shù)解決方案，幫助客戶提高生產(chǎn)效率和降低生產(chǎn)成本！源自原廠、高于原廠、技術(shù)、同步！

低溫泵的優(yōu)勢：

- 所有氣體都有高抽速

- 對水汽有*的抽速

對于相同直徑的高真空法蘭，低溫泵可以達到所有高真空泵MAX的抽速。

低溫泵的優(yōu)勢2：

與氣體傳輸泵（例如渦輪分子泵）相比，低溫泵在真空側(cè)沒有任何機械活動

部件、潤滑油或脂潤滑部件。所以：- 10-3 至 ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至

≤ 0.75 x 10-11 Torr).壓強范圍的無烴真空

- 對外部振動不敏感

其它優(yōu)點：

- 與其他高真空泵相比更加緊湊（抽速大于1500 l x s-1）

- 僅啟動和再生期間需要前級泵

- 利用計算機更容易對工藝和泵進行控制

- 性價比更高，使用成本更低，尤其是需要大抽速的應(yīng)用

客戶得益

- 無烴高真空

- 抽氬氣和氮氣能力強

- 切入閾值高

- 操作簡單

- 易于整合到復(fù)雜系統(tǒng)

- 全自動再生

- 維修簡單

典型應(yīng)用

- 蒸發(fā)器

- 濺射系統(tǒng)

- 離子注入機

- 光學(xué)鍍膜機

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CTI-Cryogenics On-Board® IS 低溫泵

維修-翻新服務(wù)

Brooks CTI-Cryogenics 智能 On-Board IS 低溫泵系統(tǒng)采用創(chuàng)新型高效低溫技術(shù)，可以提供的真空性能和能源效率。獲得的分布式控制系統(tǒng)監(jiān)控器及連續(xù)可調(diào)的低溫泵系統(tǒng)獨立部件幫助維持系統(tǒng)從而實現(xiàn)在較寬真空范圍內(nèi)都有*的工藝連續(xù)性。

Brooks 的優(yōu)勢

• 各種 CTI-Cryogenics 低溫泵和壓縮機的“一站式”體驗
• 原始設(shè)備制造商：產(chǎn)品技術(shù)專家和設(shè)計工程師
• 可在所有主要的半導(dǎo)體晶圓廠所在的區(qū)域提供維修服務(wù)
• 所有維修類型均提供一年全面質(zhì)保
• 維修類別：
  • 翻新
  • 高級交換
  • 1 天快速響應(yīng)交換
• 固定備件交換適用于所有區(qū)域
• 維修新增了產(chǎn)品升級和 CIP服務(wù)
• ISO 認證的維修僅使用 Brooks 部件
• 統(tǒng)一維修作業(yè)流程以保持質(zhì)量和性能的*性
• 所有產(chǎn)品的準(zhǔn)備時間都是固定的，與服務(wù)類別無關(guān)
• 特定的維修協(xié)議可用于所有機械手臂

On-Board 低溫泵維修-翻新選項

* 如需了解可用性， 請與我們聯(lián)系。

Brooks 認證的維修是客戶的正確選擇，可提供高質(zhì)量的專業(yè)服務(wù)。這些維修旨在優(yōu)化老化產(chǎn)品的性能，并為所有低溫需求獲取好壽命。

On-Board 低溫泵維修特性

• 可提供性能升級選項
• 高級評估診斷工具
• 自動化測試套件
• 堅持*復(fù)制
• 深層故障分析選項

前瞻性協(xié)議

對于大量裝機的客戶，服務(wù)協(xié)議可以與增強的預(yù)防性維護或包括交換的翻新服務(wù)一起提供。這些協(xié)議提供隨時可用的備件以支持運行時間要求。該計劃可幫助客戶主動管理設(shè)備維護，以便減少意外停機時間，同時固定的價格有利于您申請預(yù)算或預(yù)估維護費用。低溫捕集泵維修，深冷泵維修，POLYCOLD維修專家就屬熙日真空更專業(yè)，我們是專業(yè)維修POLYCOLD等深冷泵的公司，擁有眾多專業(yè)且經(jīng)過培訓(xùn)的工程師，訓(xùn)練有素，服務(wù)，上門解決您的設(shè)備各種疑難雜癥問題，如果您遇到有POLYCOLD解決不了的問題聯(lián)系熙日真空

　　我司常備有Polycold維修配件：Polycold的原裝配方冷媒、冷凍油、低溫電磁閥、低溫接頭墊圈和保溫材料，維修后享有免費保修，免費技術(shù)支持。