英國愛德華渦輪分子泵STP301、STP603 ISO100 入口 KF25 出口

概述

Edwards STP301 用于電子顯微鏡和半導(dǎo)體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子技術(shù)可實(shí)現(xiàn)的性能，大的制程靈活性。STP301 已經(jīng)由科學(xué)儀器、半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了認(rèn)可。
 
此 STP 泵在供貨時(shí)帶有入口篩網(wǎng)。
  
如需完整安裝，請訂購一臺(tái) STP 泵、一個(gè)控制器、一根連接電纜和一根電源電纜。英國愛德華渦輪分子真空泵STP301 STP603
 

應(yīng)用

• 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
• 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
• 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
• 濺射
• 離子注入源，射束線泵送端點(diǎn)站
• MBE
• 擴(kuò)散
• 光致抗蝕劑脫模
• 晶體/晶膜生長
• 晶片檢查
• 負(fù)載鎖真空腔
• 科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
• 高能物理：射束線、加速器
• 放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋英國愛德華渦輪分子真空泵STP301 STP603

  功能和優(yōu)勢

  良好的轉(zhuǎn)子技術(shù)  

• 大的制程靈活性

• 無油

• 低振動(dòng)

• 高度可靠

• 免維護(hù)

• 良好的控制器設(shè)計(jì)  

• 自動(dòng)調(diào)整

• 自行診斷功能

• 直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)

• 無電池運(yùn)行

• 緊湊型設(shè)計(jì)  

• 占地面積小

• 半機(jī)架控制器

  技術(shù)データ

  入口法蘭	ISO100，CF100
  出口	KF25
  抽速
  N2	300 ls-1
  H2	300 ls-1
  壓縮比
  N2	>108
  H2	>2 x 104
  加熱時(shí)的極限壓力（VG/ISO 法蘭）	6.5 x 10-6 Pa (5 x 10-8 Torr)
  加熱時(shí)的極限壓力（ICF 法蘭）	10-8 Pa (10-10 Torr)
  大允許進(jìn)氣口壓力（環(huán)境空氣冷卻）	0.066 Pa (5 x 10-4 Torr)
  大連續(xù)出口壓力（環(huán)境空氣冷卻）	13 Pa (0.1 Torr)
  額定速度	48000 rpm
  啟動(dòng)時(shí)間	3 min
  高入口法蘭溫度	120 °C
  輸入電壓	100 至 120 (± 10%) V 交流或
  	200 至 240 (± 10%) V 交流
  啟動(dòng)時(shí)的功耗	0.55 kVA
  泵重量	11 kg
  控制器重量	7 kg

 蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟英國愛德華渦輪分子泵維修、愛德華真空泵STP301 STP603保養(yǎng)

鎮(zhèn)江常州揚(yáng)州泰州南通南京啟東海門如皋英國愛德華渦輪分子泵維修、愛德華真空泵STP301 STP603保養(yǎng)

海門海安如東宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州英國愛德華渦輪分子泵維修、愛德華真空泵STP301 STP603保養(yǎng)

溫州臺(tái)州衢州紹興金華寧波余姚福州廈門英國愛德華渦輪分子泵維修、愛德華真空泵STP301 STP603保養(yǎng)
泉州深圳廣州珠海廣州惠州通州桂林南寧英國愛德華渦輪分子泵維修、愛德華真空泵STP301 STP603保養(yǎng)

南昌贛州武漢成都重慶荊州太原蘭州英國愛德華渦輪分子泵維修、愛德華真空泵STP301 STP603保養(yǎng)

烏魯木齊石家莊天津長春吉林濟(jì)南青島英國愛德華渦輪分子泵維修、愛德華真空泵STP301 STP603保養(yǎng)

威海德州連云港昆明九江安慶英國愛德華渦輪分子泵維修、愛德華真空泵STP301 STP603保養(yǎng)

一、進(jìn)口真空泵維修：
1、BOC EDWARDS(愛德華)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(萊寶)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉)：A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(貝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其樂)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
9、ULVAC(愛發(fā)科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA（巖田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（漢鐘）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、進(jìn)口真空泵配件銷售：
1、類型：真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉(zhuǎn)子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂)、ULVAC(愛發(fā)科)、VIRIAN(瓦里安)等。

三、進(jìn)口真空油銷售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。