產品展示
產品名稱: 英國愛德華iH晶圓半導體干式真空泵iH80維修
產品時間: 2019-03-24
產品型號: iH80、iH160、iH600
產品特點: Edwards 高級半導體真空泵已經過現(xiàn)場應用證明，可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的可靠性和性能英國愛德華iH晶圓半導體干式真空泵iH80維修
英國愛德華iH晶圓半導體干式真空泵iH80維修 的詳細介紹
英國愛德華iH晶圓半導體干式真空泵iH80維修
概述
Edwards 高級半導體真空泵已經過現(xiàn)場應用證明，可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的可靠性和性能。
iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
應用
- 負載鎖
- 輸送
- 計量
- 平版印刷
- PVD 制程
- PVD 預清潔
- RTA
- 剝離/灰化
- 刻蝕
- 植入源
- HDP CVD
- RTP
- SACVD
- MCVD
- PECVD
- LPCVD
- ALD
功能和優(yōu)勢
- 優(yōu)化了設施消耗。
- 無需預防性維護。
- 懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。
- 在節(jié)省電機功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩(wěn)定性。
- 耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
- 較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
- 整體式軸桿無需使用電機聯(lián)結器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。
技術數(shù)據(jù)
| 峰值速度 | 103 m3h-1 |
| 61 cfm | |
| 1717 l min-1 | |
| 極限真空 | 1 x 10-2 mbar |
| 7.5 x 10-3 Torr | |
| 1 Pa | |
| 典型軸封氮流量 | 4 slm |
| 進氣口連接 | ISO63 |
| 出口連接 | NW40 |
| 15 psi 壓降下典型冷卻水流量 | 120 l h-1 |
| 2 l min-1 | |
| 重量 | 240 kg |
| 極限功率輸入 | 2.7 kW |
| 電機額定功率 | 3.5 kW |
| 油容量 | 0.7 l |
所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。
蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟鎮(zhèn)江常州英國edwardsvacuum愛德華iH晶圓半導體干式真空泵、愛德華干式真空泵iH80維修
揚州泰州南通南京啟東海門如皋海門海安如東宿遷英國edwardsvacuum愛德華iH晶圓半導體干式真空泵、愛德華干式真空泵iH80維修
徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州臺州衢州紹興金華寧波英國edwardsvacuum愛德華iH晶圓半導體干式真空泵、愛德華干式真空泵iH80維修
余姚福州廈門泉州深圳廣州珠海廣州惠州通州桂林英國edwardsvacuum愛德華iH晶圓半導體干式真空泵、愛德華干式真空泵iH80維修
南寧南昌贛州武漢成都重慶荊州太原蘭州烏魯木齊英國edwardsvacuum愛德華iH晶圓半導體干式真空泵、愛德華干式真空泵iH80維修
相關產品
產品分類
相關文章
聯(lián)系我們
昆山熙日機械設備有限公司
電話：86-0512-36687634
傳真：86-0512-36687634
地址：江蘇省昆山市陸家鎮(zhèn)友誼路290號
郵編：215000
昆山熙日機械設備有限公司版權所有© 2018
